1 电机两端和丝杠轴承座上的轴承磨损后间隙过大，或者轴承缺少润滑脂后轴承滚动体和保持架磨损严重造成负载过重。轴承磨损后间隙过大会造成电机转子中心和丝杠中心存在同轴度误差，使机械系统产生抖动。轴承滚动体和保持架磨损严重会造成摩擦力增加,导致“堵转”，在不至于导致“过载报警”的情况下，由于负载过重，会增加伺服系统的响应时间,从而产生振动。

2 电机转子不平衡。电机转子的动平衡制造时有缺陷或者长时间使用后质量变差，就会产生形如“振动电机”一样的振动源。

3 转轴弯曲。转轴弯曲的情况类似于转子不平衡，除了会产生振动源之外，也会产生电机转子中心和丝杠中心的同轴度误差，使机械传动系统产生抖动。

4 联轴器制造缺陷或使用后磨损会造成联轴器两部分的同轴度误差，特别是使用铸造的刚性联轴器，由于本身的制造精度差，更容易产生同轴度误差导致振动。

5 导轨的平行度在制造时较差会导致伺服系统无法到达指定位置到无法停留在指定位置，这时伺服电机会不停的在努力寻找位置和系统反馈间徘徊，使电机连续的振动。

6 丝杠与导轨平面的平行度误差。丝杠在安装过程中与导轨所在平面有平行度误差也会使电机由于负载不均匀产生振动。

7 丝杠弯曲。丝杠弯曲后丝杠除了受到轴向推力外还会受到变化的径向力，弯曲大时径向力大，弯曲小时径向力小，同样这种不应该存在的径向力也会使机械传动系统产生振动。